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半导体实验室装修、千级超净间建设工程及方案

2020年03月19日

随着各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求,工业装修对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高,尤其是5G热潮袭来、半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。

千级净化车间的应用较为广泛,在医院手术室、机械电子等行业的装修设计中洁常有使用。千级洁净室指的是微尘数量被控制在每立方米1000个以内,同时为了防止洁净空间受外界污染,在室内压差上也有所要求,通常要求内部压力(静压)>外部压力(静压);洁净度要求高的空间压力>洁净度要求低的空间压力;洁净室门的朝向应开向洁净度级别高的房间。更多的千级净化车间装修设计标准和一般做法详见下文

 一、千级净化车间的装修设计标准

1. 千级净化车间的建筑通常划分为土建结构和装配式两种,其中装配式更为普遍,主要包括由初级、中级、高级空气过滤器构成的空调送回风系统、排风系统及其他配套系统。

2. 千级净化车间的室内空气参数设置要求:

① 温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。

② 新风量:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

③ 送风量:要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。

净化车间装修 二、千级净化车间的一般做法

关于千级净化车间的一般做法,三仁将以电路板千级净化车间的三种设计方案来比较分析。此处案例为苏州一个美资柔性电路板EPC总承包项目中的一个典型工艺房间,温湿度要求在(21±2)℃,湿度控制在(55±10)%。

1. 方案一:AHU(空调机组)+HEPA(高效送风口)

2. 方案二:MAU(新风机组)+RAU(循环机组)+HEPA(高效送风口)

3. 方案三:AHU(空调机组)+FFU(风机过滤单元)

对比三种方案发现三种方案造价差异不大,但方案三由于使用了大量循环风且只经过一次高效过滤,在运行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市场上,千级净化车间随着FFU价格的降低,越来越受到设计师和建设方的喜爱。


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